激光微融覆

 激光微熔覆也叫激光直写,主要用于微电子元器件的制造。该工艺以电子浆料等功能材料作为熔覆材料,采用连续或者脉冲激光辐照,使熔覆材料内部、熔覆层与基材界面发生物理、化学作用,形成所需要的导线、功能元器件或MEMS微结构。

激光微融覆

激光微熔覆的基本原理与特点 


激光微熔覆技术基本原理是将功能材料(如微米和纳米级粉末或浆料)通过微细笔或微喷等其它沉积方式预置在功能基板上(玻璃、陶瓷、有机环氧板、塑料、单晶硅等非金属材料),再利用专用软件、结合CAD/CAM,快捷地把图形文件直接转变成加工文件,控制激光行走路径,对功能粉末或浆料层进行处理,使熔覆材料内部、熔覆层与基材界面发生物理、化学作用,获得不同线宽的导线及无源器件,实现了在无掩模下直接在绝缘基板表面上制备导电层、阻电层和介质层。  


激光微熔覆的特点是可在各种电子、半导体基板表面熔覆各种功能的电子、半导体或绝缘体浆料,形成所需要的功能涂层。可实现(微)电子元器件、光电子器件、混合集成电路基板、微机电系统的快速制造。它具有加工精度高、质量好、便于实现平面和三维加工、柔性化程度高、基板适用范围广等特点,在电子制造、精密机械和生物工程领域具有广阔的市场前景。

工作方式

准连续

功率配置(可选)

0~50W

激光波长(可选)

355nm、532nm、1.064mm

微细笔直写最小宽度

≤60μm

微喷直写最小宽度

≤20μm

微喷/微细笔-激光复合微熔覆最小线宽

≤10μm

重复定位精度

±0.001mm

工作台尺寸(可选)

标准台面:400mm×300mm×100mm

定位

CCD定位,具有自动涨缩补偿。

支持加工文件格式

AutoCAD, Protel, Gerber

稳定性

24小时连续工作无故障。

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